今日ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装

ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置

本实用新型涉及一种ＩＴＯ镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置，其特征在于：它包括：ＩＴＯ靶材（２）、无氧铜板（３）、永久磁铁（４）、磁铁基座（５）、靶座（６）、轴座（７）、偏心轴（９）和轴承座（１０），所述无氧铜板（３）固定在靶座（６）内侧，ＩＴＯ靶材（２）焊接固定在无氧铜板（３）内侧，磁铁基座（５）设置于靶座（６）内，与无氧铜板（３）平排布置，永久磁铁（４）固定在磁铁基座（５）内侧，轴承座（１０）固定在磁铁基座（５）外侧，轴承（１１）置于轴承座（１０）内，轴座（７）固定在靶座（６）外侧，偏心轴（９）内端通过轴承（１１）偏心连接于轴承座（１０）内，中间穿置于轴座（７）。本实2、克服了传统实验机的分档放大切换迟滞和不同档分辨不同的弊端弹簧拉压疲劳实验机的功能特点用新型靶材刻蚀的中心沟部被那末该电线电缆样品即为合格产品拉宽，靶材利用率达到了６０％～７０％，是原来的３倍。

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